Система идентификации (RFID) для использования при производстве полупроводников (FOUPS)
Оборудование для производства полупроводников (например, унифицированные контейнеры фронтального открытия (FOUPS)) должно отвечать специфическим требованиям в отношении химической стойкости и поддержки протокола обмена данными, применяемого в системах идентификации. Система V640 компании OMRON поддерживает обмен данными со стандартными стеклянными транспондерами фирмы Texas Instruments, а также связь по протоколу SECS I/II.
- Соответствие стандартам SEMI (SEMI E99, E4 и E5)
- Размеры антенны соответствуют стандарту SEMI E15.1
- Возможность чтения/записи из/в многостраничные транспондеры (TI)
- Функция измерения уровня помех для наилучшего использования антенны
- Возможность подключения к последовательной сети (RS485) для одновременной работы нескольких контроллеров |